三室及多腔室磁控濺射鍍膜設(shè)備：

     三室磁控濺射鍍膜機(jī)是一款高兼容性設(shè)備，采用反應(yīng)濺射模式，適合做菲林（NCVM）、車(chē)載（AR）、3D車(chē)載（AR）,以及AR+AF.。可制備N(xiāo)B2O5、SIO2 、SI3N4、SIH、Cr、In等不同膜層， 兼容3D 異型車(chē)載玻璃。

◆工件轉(zhuǎn)動(dòng)：1~120r/min無(wú)極可調(diào)
◆極限真空：<2.0E-4Pa
◆膜層均勻性： ≤1%（T Max.-Tmin.）/( T Max.+Tmin.)
◆有效鍍膜尺寸：
     HD-SCK1600有效濺射高度850mm
     HD-SCK1800有效濺射高度1250mm
     HD-SCK1800有效濺射高度1500mm