雙室磁控濺射鍍膜機(jī)HD-CK1600-ICP是一款高兼容性設(shè)備，適合做菲林（NCVM）、車載、攝像頭超硬AR、IR-CUT等濾光片、人臉識等產(chǎn)品;可制備NB2O5,SIO2 ,SI3N4,SIH,Cr,In等不同膜層，鍍膜工藝室不破空，穩(wěn)定性重復(fù)性優(yōu)異，采取整鼓平移連續(xù)的方式。

◆工件轉(zhuǎn)動：1~120r/min無極可調(diào)
◆極限真空：<2.0E-4Pa
◆膜層均勻性： ≤1%（T Max.-Tmin.）/( T Max.+Tmin.)
◆有效鍍膜尺寸：
     HD-CK1600-ICP有效濺射區(qū)域Φ1600mm*H800mm