HD-SSCK1600-ICP實驗平臺特點:,
◆適合做菲林(NCVM)、車載、攝像頭超硬AR、IR-CUT等濾光片、人臉識別,AR+DLC+AF、NCVM+DLC+AF一次成膜。
◆成膜方式:磁控濺射ICP后離化鍍膜,鍍率大,成膜致密
◆由CM1進片腔(前處理室)+CM2工藝腔(光學(xué)成膜腔)+CM3工藝腔(DLC成膜腔)+CM4(AF成膜室)組成;CM3工藝腔可以模塊化切換成光學(xué)鍍膜腔,各腔可靈活切換工藝配置,適合復(fù)雜工藝研發(fā)設(shè)計制作 。
◆載具掛板可異型設(shè)計,制作異型樣品
◆可以完成在玻璃、陶瓷、PC板、菲林基底上制成光學(xué)膜、顏色膜、硬質(zhì)膜層、DLC、AF膜,實驗應(yīng)用于手機蓋板、攝像頭,智能家居、智能穿戴,車載顯示等鍍膜工藝的膜系系設(shè)計開發(fā)、設(shè)備軟硬件測試。